Gr1 Gr2 Gr5 Tytanowy cel rozpylający

1.Materiał docelowy

Materiał docelowy to materiał docelowy bombardowany przez naładowane cząstki o dużej prędkości. Istnieją metale, stopy, tlenki itp. Zastąp różne materiały tarcz (takie jak tarcze aluminiowe, miedź, stal nierdzewna, tytan, nikiel itp.), możesz uzyskać różne systemy folii (takie jak supertwarde, odporne na zużycie, antykorozyjna folia stopowa itp.).

(1) Cele metalowe: target niklowy, Ni, target tytanowy, Ti, target cynkowy, Zn, target chromowy, Cr, target magnezowy, Mg, target niobowy, Nb, target cynowy, Sn, target aluminiowy, Al, target indowy, In , tarcza żelazna, Fe, tarcza cyrkonowo-aluminiowa, ZrAl, tarcza tytanowo-aluminiowa, TiAl, tarcza cyrkonowa, Zr, tarcza aluminiowo-krzemowa, AlSi, tarcza krzemowa, Si, tarcza miedziana Cu, tarcza tantalowa T, a, tarcza germanowa, Ge, Srebro target, Ag, target kobaltowy, Co, target złoty, Au, target gadolinowy, Gd, target lantanowy, La, target itrowy, Y, target cerowy, Ce, target wolframowy, w, target ze stali nierdzewnej, target niklowo-chromowy, NiCr, tarcza hafnowa, Hf, tarcza molibdenowa, Mo, tarcza żelazowo-niklowa, FeNi, tarcza wolframowa, W itp.

(2) Cele ceramiczne: cel ITO, cel tlenek magnezu, cel tlenek żelaza, cel azotek krzemu, cel węglik krzemu, cel azotek tytanu, cel tlenek chromu, cel tlenek cynku, cel siarczek cynku, cel dwutlenek krzemu, jeden cel tlenek krzemu, docelowy tlenek ceru, docelowy dwuborek cyrkonu, docelowy pięciotlenek niobu, docelowy dwutlenek tytanu, docelowy dwutlenek cyrkonu, docelowy dwuborek tytanu, docelowy dwuborek cyrkonu, docelowy tritlenek wolframu, tlenek glinu, tlenek tantalu, docelowy pięciotlenek niobu, docelowy fluorek magnezu , docelowy fluorek itru, docelowy selenek cynku, docelowy azotek glinu, docelowy azotek krzemu, docelowy azotek boru, docelowy azotek tytanu, docelowy węglik krzemu, docelowy niobian litu, docelowy tytanian prazeodymu, docelowy tytanian baru, tytanian lantanu, docelowy tlenek niklu, rozpylanie cel itp.

2. Główne wymagania wydajnościowe celu

(1) Czystość

Czystość jest jednym z głównych wskaźników wydajności targetu, ponieważ czystość targetu ma ogromny wpływ na właściwości użytkowe folii. Jednakże w zastosowaniach praktycznych wymagania dotyczące czystości materiałów docelowych są również inne. Na przykład wraz z szybkim rozwojem przemysłu mikroelektroniki rozmiar płytek krzemowych wzrósł z 6 cali, 8” do 12 cali, a szerokość okablowania została zmniejszona z 0,5um do 0 .25um, 0.18um lub nawet 0.13um, poprzednia docelowa czystość 99,995% Może spełnić wymagania techniczne 0.35umIC i przygotowania 0 Linie .18um wymagają 99,999% lub nawet 99,9999% czystości celu.

(2) Zawartość zanieczyszczeń

Zanieczyszczenia w docelowej substancji stałej oraz tlen i para wodna w porach są głównymi źródłami zanieczyszczenia osadzonej warstwy. Różne cele mają różne wymagania dotyczące różnej zawartości zanieczyszczeń. Na przykład cele z czystego aluminium i stopów aluminium stosowane w przemyśle półprzewodników mają specjalne wymagania dotyczące zawartości metali alkalicznych i pierwiastków radioaktywnych.

(3) Gęstość

Aby zmniejszyć pory w ciałach stałych targetu i poprawić działanie napylanej folii, zwykle wymagane jest, aby target miał większą gęstość. Gęstość targetu wpływa nie tylko na szybkość rozpylania, ale także na właściwości elektryczne i optyczne folii. Im wyższa gęstość docelowa, tym lepsza wydajność filmu. Ponadto zwiększenie gęstości i wytrzymałości celu pozwala na lepsze wytrzymywanie naprężenia termicznego podczas rozpylania. Gęstość jest również jednym z kluczowych wskaźników wydajności celu.

(4) Wielkość ziaren i rozkład wielkości ziaren

Materiał docelowy jest zwykle polikrystaliczny, a wielkość ziaren może wynosić od mikronów do milimetrów. W przypadku tego samego materiału tarczy szybkość rozpylania tarczy o drobnych ziarnach jest większa niż w przypadku tarczy o grubych ziarnach; grubość warstwy naniesionej metodą napylania tarczy przy niewielkiej różnicy w wielkości ziaren (równomierny rozkład) jest bardziej jednolita.

3. Materiał

(1) Czysty tytan: GR1 GR2

(2) Stop tytanu: tytan Gr5, tytan-aluminium TiAl, tytan-nikiel TiNi, tytan-chrom TiCr, tytan-cyrkon TiZr, miedź-tytan TiCu itp.

(3)Inne materiały: cele napylania cyrkonu, cele napylania chromu, cele napylania wolframu, cele napylania miedzią itp.

4. Cel

Jest szeroko stosowany w powłokach dekoracyjnych, powłokach odpornych na zużycie, płytach CD i VCD w przemyśle elektronicznym, a także w różnych powłokach dysków magnetycznych.

Folie wolframowo-tytanowe (W-Ti) i folie stopowe na bazie wolframu-tytanu (W-Ti) to wysokotemperaturowe folie stopowe o szeregu niezastąpionych doskonałych właściwościach. Wolfram ma takie właściwości, jak wysoka temperatura topnienia, wysoka wytrzymałość i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej. Stop W / Ti ma niski współczynnik oporu, dobrą stabilność termiczną i odporność na utlenianie. Różne urządzenia wymagają okablowania metalowego, które pełni rolę przewodzącą, np. Al, Cu i Ag, które są szeroko stosowane i badane. Jednak sam metal okablowania łatwo się utlenia, reaguje z otaczającym środowiskiem i ma słabą przyczepność do warstwy dielektrycznej. Łatwo dyfunduje do materiałów podłoża urządzeń takich jak Si i SiO2, a w niższej temperaturze tworzy metal i Si. Związki, które działają jak zanieczyszczenia, znacznie pogarszają działanie urządzenia. Stop W-Ti jest łatwy w użyciu jako bariera dyfuzyjna przewodów ze względu na stabilne właściwości termomechaniczne, niską ruchliwość elektronów, wysoką odporność na korozję i stabilność chemiczną, szczególnie odpowiedni do stosowania w środowiskach o wysokim natężeniu prądu i wysokiej temperaturze.

Szczegółowe obrazy

Popularne Tagi: gr1 gr2 gr5 tarcza do napylania tytanu, Chiny, producenci, dostawcy, fabryka, dostosowana, niska cena, w magazynie, wyprodukowana w Chinach, Tytanowe płyty, Zaleta materiału tytanu, Wada materiału tytanu, Materiały tytanowe oporne na ciepło, Rentowność materiałów tytanowych, Wypuszczalne materiały tytanowe